H01L 21/3063 — електролітичне травлення
Спосіб отримання поруватого шару znse n-типу методом електрохімічного травлення при освітленні зразків лазером
Номер патенту: 57476
Опубліковано: 25.02.2011
Автори: Кідалов Валерій Віталійович, Сичікова Яна Олександрівна, Мараховський Олександр Вікторович
МПК: H01L 21/3063
Мітки: отримання, n-типу, шару, зразків, методом, освітленні, спосіб, травлення, лазером, електрохімічного, поруватого
Формула / Реферат:
1. Спосіб отримання поруватого шару ZnSe, який характеризується тим, що включає обробку поверхні монокристалічного селеніду цинку шляхом електрохімічного травлення.2. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що електрохімічне травлення проводять обробкою монокристала ZnSe у водному розчині НВr (концентрація кислоти 40 %), час травлення 15 хв при проходженні крізь електроліт постійного струму щільністю 150 мА/см2.3. Спосіб за п....