H01L 21/312 — з органічних речовин, наприклад шарів фоторезиста
Спосіб одержання рисунку в шарі оксиду рідкоземельного металу
Номер патенту: 11366
Опубліковано: 25.12.1996
Автори: Лисенко Станіслав Самуілович, Зарембо Віталій Антонович, Масенко Валентин Костантинович, Андреєва Ася Фантинівна, Глебова Лариса Іосифна, Рець Віталій Кузьмич
МПК: H01L 21/312, G03F 1/00
Мітки: спосіб, рисунку, рідкоземельного, металу, оксиду, шарі, одержання
Формула / Реферат:
Способ получения рисунка в слое оксида редкоземельного металла, включающий химическую обработку поверхности слоя оксида, нанесение на нее слоя фоторезиста, формирование фоторезистивной маски и перенос рисунка маски в слой оксида путем химического травления в растворе, содержащем серную, ортофосфорную кислоты и поверхностно-активное вещество, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества получаемого рисунка за счет повышения...