Рець Віталій Кузьмич
Спосіб одержання рисунку в шарі оксиду рідкоземельного металу
Номер патенту: 11366
Опубліковано: 25.12.1996
Автори: Андреєва Ася Фантинівна, Глебова Лариса Іосифна, Лисенко Станіслав Самуілович, Рець Віталій Кузьмич, Масенко Валентин Костантинович, Зарембо Віталій Антонович
МПК: H01L 21/312, G03F 1/00
Мітки: одержання, рідкоземельного, спосіб, оксиду, металу, рисунку, шарі
Формула / Реферат:
Способ получения рисунка в слое оксида редкоземельного металла, включающий химическую обработку поверхности слоя оксида, нанесение на нее слоя фоторезиста, формирование фоторезистивной маски и перенос рисунка маски в слой оксида путем химического травления в растворе, содержащем серную, ортофосфорную кислоты и поверхностно-активное вещество, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества получаемого рисунка за счет повышения...