H05H 1/100 — H05H 1/100
Плазмовий реактор з магнітною системою
Номер патенту: 87745
Опубліковано: 25.02.2014
Автори: Павлов Гєоргій Яковлєвіч, Одіноков Вадім Васільєвіч, Короташ Ігор Васильович, Руденко Едуард Михайлович, Сологуб Вадім Алєксандровіч, Семенюк Валерій Федорович
МПК: H05H 1/100, H01L 21/00
Мітки: магнітною, плазмовий, реактор, системою
Формула / Реферат:
1. Плазмовий реактор, що містить в собі вакуумну камеру з засобами відкачування, системою подавання та дозування технологічних газів, радіально симетрично закріпленими зовні зверху електродами для збудження розрядів індукційним або ємнісним засобами і які електрично з'єднані з ВЧ генераторами, столик з підкладинкою, який розміщений вісесиметрично всередині камери і протилежно до зазначених вище електродів і також з'єднаний з окремим ВЧ...