Павлов Гєоргій Яковлєвіч
Плазмовий пристрій нанесення багатошарових плівкових покриттів
Номер патенту: 87747
Опубліковано: 25.02.2014
Автори: Короташ Ігор Васильович, Семенюк Валерій Федорович, Веремійченко Георгій Микитович, Руденко Едуард Михайлович, Павлов Гєоргій Яковлєвіч, Сологуб Вадім Алєксандровіч, Одіноков Вадім Васільєвіч
МПК: C23C 14/34
Мітки: багатошарових, пристрій, нанесення, покриттів, плазмовий, плівкових
Формула / Реферат:
1. Плазмовий пристрій нанесення багатошарових плівкових покриттів, що містить технологічну вакуумну камеру із засобами відкачування та систему напуску і дозування технологічного газу, два чи більше розміщених вертикально по периферії камери дугових джерел матеріалів, що наносяться, з джерелами живлення, столик з підкладкою, який розташований горизонтально та вісесиметрично в нижній частині камери, і магнітну систему, який відрізняється тим,...
Плазмовий реактор з магнітною системою
Номер патенту: 87745
Опубліковано: 25.02.2014
Автори: Семенюк Валерій Федорович, Павлов Гєоргій Яковлєвіч, Руденко Едуард Михайлович, Короташ Ігор Васильович, Сологуб Вадім Алєксандровіч, Одіноков Вадім Васільєвіч
МПК: H01L 21/00, H05H 1/100
Мітки: плазмовий, магнітною, реактор, системою
Формула / Реферат:
1. Плазмовий реактор, що містить в собі вакуумну камеру з засобами відкачування, системою подавання та дозування технологічних газів, радіально симетрично закріпленими зовні зверху електродами для збудження розрядів індукційним або ємнісним засобами і які електрично з'єднані з ВЧ генераторами, столик з підкладинкою, який розміщений вісесиметрично всередині камери і протилежно до зазначених вище електродів і також з'єднаний з окремим ВЧ...