Короташ Ігор Васильович
Плазмовий пристрій нанесення багатошарових плівкових покриттів
Номер патенту: 87747
Опубліковано: 25.02.2014
Автори: Семенюк Валерій Федорович, Короташ Ігор Васильович, Павлов Гєоргій Яковлєвіч, Руденко Едуард Михайлович, Одіноков Вадім Васільєвіч, Сологуб Вадім Алєксандровіч, Веремійченко Георгій Микитович
МПК: C23C 14/34
Мітки: плівкових, покриттів, нанесення, пристрій, багатошарових, плазмовий
Формула / Реферат:
1. Плазмовий пристрій нанесення багатошарових плівкових покриттів, що містить технологічну вакуумну камеру із засобами відкачування та систему напуску і дозування технологічного газу, два чи більше розміщених вертикально по периферії камери дугових джерел матеріалів, що наносяться, з джерелами живлення, столик з підкладкою, який розташований горизонтально та вісесиметрично в нижній частині камери, і магнітну систему, який відрізняється тим,...
Плазмовий реактор з магнітною системою
Номер патенту: 87745
Опубліковано: 25.02.2014
Автори: Руденко Едуард Михайлович, Одіноков Вадім Васільєвіч, Короташ Ігор Васильович, Семенюк Валерій Федорович, Павлов Гєоргій Яковлєвіч, Сологуб Вадім Алєксандровіч
МПК: H01L 21/00, H05H 1/100
Мітки: плазмовий, системою, магнітною, реактор
Формула / Реферат:
1. Плазмовий реактор, що містить в собі вакуумну камеру з засобами відкачування, системою подавання та дозування технологічних газів, радіально симетрично закріпленими зовні зверху електродами для збудження розрядів індукційним або ємнісним засобами і які електрично з'єднані з ВЧ генераторами, столик з підкладинкою, який розміщений вісесиметрично всередині камери і протилежно до зазначених вище електродів і також з'єднаний з окремим ВЧ...
Спосіб радіохвильового неруйнівного контролю та пристрій для його застосування
Номер патенту: 103318
Опубліковано: 10.10.2013
Автори: Короташ Ігор Васильович, Ходунов Володимир Олександрович, Жарков Іван Павлович, Сафронов Віталій Вікторович, Руденко Едуард Михайлович
МПК: G01N 22/00, G01N 13/00
Мітки: контролю, застосування, пристрій, неруйнівного, спосіб, радіохвильового
Формула / Реферат:
1. Спосіб радіохвильового неруйнівного контролю зміцнюючих та захисних покриттів шляхом опромінення електромагнітним полем в НВЧ діапазоні довжин хвиль від 1 до 100 мм, тобто 3-300 ГГц, поверхні об'єкту контролю, детектування і перетворення параметрів електромагнітного поля після взаємодії з поверхнею об'єкту в параметри електричного сигналу, передачі сигналів через лінії передачі на реєструючий прилад та засіб обробки інформації, який...