Кавич Володимир Йосипович
Спосіб одержання епітаксійних шарів
Номер патенту: 96837
Опубліковано: 12.12.2011
Автори: Морозов Леонід Михайлович, Кавич Володимир Йосипович, Писаревський Володимир Костянтинович
МПК: C23C 14/24, C23C 16/00, B23K 26/06 ...
Мітки: спосіб, епітаксійних, одержання, шарів
Формула / Реферат:
1. Спосіб одержання епітаксійних шарів, в якому підігрівають підкладку та мішень, випаровують матеріал мішені, транспортують пару та конденсують на підкладку у вакуумній камері, який відрізняється тим, що попередньо підготовлені підкладку та мішень розміщують на відстані 50±5 мм у вакуумній камері з тиском 10-5-10-7 Па, після чого підкладку підігрівають до температури 180-250 °С зовнішнім нагрівачем, а мішень нагрівають імпульсним лазерним...