Писаревський Володимир Костянтинович
Спосіб зниження концентрації акцепторів у власнодефектних кристалах
Номер патенту: 99369
Опубліковано: 10.08.2012
Автори: Коман Богдан Петрович, Писаревський Володимир Костянтинович, Морозов Леонід Михайлович
МПК: C30B 19/00, C30B 25/00, H01L 21/02 ...
Мітки: власнодефектних, акцепторів, кристалах, зниження, спосіб, концентрації
Формула / Реферат:
Спосіб зниження концентрації акцепторів у власнодефектних кристалах, за яким кристали вирощують вертикальним способом Бріджмена або способом твердотільної рекристалізації, який відрізняється тим, що з вирощеного кристала вирізають середню частину, отримані злитки розрізають на зразки у формі паралелепіпедів з розмірами мм, які механічно шліфують і хімічно полірують у...
Спосіб одержання епітаксійних шарів
Номер патенту: 96837
Опубліковано: 12.12.2011
Автори: Кавич Володимир Йосипович, Писаревський Володимир Костянтинович, Морозов Леонід Михайлович
МПК: C23C 14/24, C23C 16/00, B23K 26/06 ...
Мітки: одержання, шарів, спосіб, епітаксійних
Формула / Реферат:
1. Спосіб одержання епітаксійних шарів, в якому підігрівають підкладку та мішень, випаровують матеріал мішені, транспортують пару та конденсують на підкладку у вакуумній камері, який відрізняється тим, що попередньо підготовлені підкладку та мішень розміщують на відстані 50±5 мм у вакуумній камері з тиском 10-5-10-7 Па, після чого підкладку підігрівають до температури 180-250 °С зовнішнім нагрівачем, а мішень нагрівають імпульсним лазерним...