Хемлей Рассел Дж.
Пристрій для виготовлення алмазів, вузол утримування зразка (варіанти) та спосіб виготовлення алмазів (варіанти)
Номер патенту: 81614
Опубліковано: 25.01.2008
Автори: Хемлей Рассел Дж., Ян Чіх-Шіуе, Вохра Йогеш К., Мао Хо-Кванг
МПК: C23C 16/26, C23C 16/52, C30B 25/02 ...
Мітки: утримування, вузол, спосіб, виготовлення, зразка, варіанти, пристрій, алмазів
Формула / Реферат:
1. Пристрій для виготовлення алмазів в камері осадження, який відрізняється тим, що містить тримач зразка з тепловідведенням для утримування алмаза і створення теплового контакту з бічною поверхнею алмаза поблизу краю поверхні вирощування алмаза, пристрій безконтактного вимірювання температури, розміщений так, щоб вимірювати температуру алмаза уздовж поверхні його вирощування, та головний контролер технологічного процесу для одержання...