Вохра Йогеш К.
Пристрій для виготовлення алмазів, вузол утримування зразка (варіанти) та спосіб виготовлення алмазів (варіанти)
Номер патенту: 81614
Опубліковано: 25.01.2008
Автори: Мао Хо-Кванг, Вохра Йогеш К., Хемлей Рассел Дж., Ян Чіх-Шіуе
МПК: C30B 25/02, C23C 16/52, C23C 16/26 ...
Мітки: алмазів, виготовлення, варіанти, утримування, пристрій, вузол, зразка, спосіб
Формула / Реферат:
1. Пристрій для виготовлення алмазів в камері осадження, який відрізняється тим, що містить тримач зразка з тепловідведенням для утримування алмаза і створення теплового контакту з бічною поверхнею алмаза поблизу краю поверхні вирощування алмаза, пристрій безконтактного вимірювання температури, розміщений так, щоб вимірювати температуру алмаза уздовж поверхні його вирощування, та головний контролер технологічного процесу для одержання...