C30B 25/02 — вирощування епітаксійних шарів
Пристрій для виготовлення алмазів, вузол утримування зразка (варіанти) та спосіб виготовлення алмазів (варіанти)
Номер патенту: 81614
Опубліковано: 25.01.2008
Автори: Вохра Йогеш К., Ян Чіх-Шіуе, Хемлей Рассел Дж., Мао Хо-Кванг
МПК: C30B 25/02, C23C 16/52, C23C 16/26, C30B 25/10 ...
Мітки: пристрій, варіанти, вузол, зразка, утримування, алмазів, спосіб, виготовлення
Формула / Реферат:
1. Пристрій для виготовлення алмазів в камері осадження, який відрізняється тим, що містить тримач зразка з тепловідведенням для утримування алмаза і створення теплового контакту з бічною поверхнею алмаза поблизу краю поверхні вирощування алмаза, пристрій безконтактного вимірювання температури, розміщений так, щоб вимірювати температуру алмаза уздовж поверхні його вирощування, та головний контролер технологічного процесу для одержання...
Спосіб проведення гомогенних і гетерогенних хімічних реакцій з використанням плазми
Номер патенту: 75530
Опубліковано: 17.04.2006
Автори: Шарафутдінов Равєль Газізовіч, Хмєль Сєргєй Яковлєвіч, Сємьонова Ольга Івановна, Тімофєєв Владімір Борісовіч, Карстєн Вольдємар Мартиновіч, Полісан Андрєй Андрєєвіч
МПК: B22F 9/16, C23C 16/22, B01J 19/08 ...
Мітки: плазми, хімічних, спосіб, реакцій, проведення, гетерогенних, використанням, гомогенних
Формула / Реферат:
1. Спосіб проведення хімічних реакцій, який полягає в тому, що подають реакційний газ з джерела реакційного газу у вакуумну реакційну камеру, формують в ній надзвуковий потік реакційного газу і активують зазначений надзвуковий потік реакційного газу шляхом дії на нього електронним пучком з утворенням електронно-пучкової плазми, який відрізняється тим, що зазначений надзвуковий потік реакційного газу формують таким чином, що на вході у...
Спосіб нанесення захисного шару на кварцеві лодочи
Номер патенту: 11381
Опубліковано: 25.12.1996
Автори: Шпакович Роман Степанович, Маскович Степан Михайлович, Насипайко Олександр Васильович, Новосядлий Степан Петрович
МПК: C30B 35/00, C30B 25/02
Мітки: лодочи, спосіб, нанесення, шару, захисного, кварцеві
Формула / Реферат:
Способ нанесения защитного слоя на кварцевые лодочки осаждением из газовой фазы, содержащей соединение кремния, отличающийся тем, что, с целью уменьшения дефектности структур, обрабатываемых в лодочках при формировании диэлектрических пленок, и повышения износостойкости лодочек, в качестве защитного слоя осаждают слой поликремния толщиной не менее 0,2 мкм из газовой смеси аргона с моносиланом или дихлорсиланом при 575-625°С и давлении...