Коновалов Владилен Анатолійович
Спосіб одержання багатошарового захисного покриття на основі тонких плівок дибориду танталу
Номер патенту: 32226
Опубліковано: 12.05.2008
Автори: Ступак Володимир Аврамович, Коновалов Владилен Анатолійович, Бажин Анатолій Іванович, Гончаров Олександр Андрійович
МПК: C23C 16/00
Мітки: плівок, покриття, танталу, дибориду, тонких, захисного, багатошарового, одержання, основі, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб одержання багатошарового захисного покриття на основі тонких плівок дибориду танталу, що здійснюють шляхом нанесення на сталеву підкладку зносостійкого покриття магнетронним методом розпилення матеріалу мішені, який відрізняється тим, що плівку покриття одержують на одній технологічній одиниці устаткування в одному вакуумному циклі при використанні одного магнетрона та однієї мішені, що розпилюється, при цьому шари дибориду танталу...