Бажин Анатолій Іванович
Спосіб отримання термостабільної багатошарової плівки hfb2-hfo2
Номер патенту: 77012
Опубліковано: 25.01.2013
Автори: Бажин Анатолій Іванович, Гончаров Олександр Андрійович, Ступак Володимир Аврамович, Агулов Олександр Вадимович, Петухов Вадим Вікторович
МПК: C23C 16/00
Мітки: спосіб, плівки, отримання, термостабільної, багатошарової, hfb2-hfo2
Формула / Реферат:
Спосіб отримання термостабільної багатошарової плівки HfB2-HfO2 методом ВЧ-магнетронного розпилення з наступним її відпалом при температурах до 1000 °C, який відрізняється тим, що отримання багатошарової термостабільної плівки HfO2-HfB2 здійснюють в діапазоні температур 600…1000 °C в умовах атмосфери печі.
Спосіб одержання багатошарового захисного покриття на основі тонких плівок дибориду танталу
Номер патенту: 32226
Опубліковано: 12.05.2008
Автори: Ступак Володимир Аврамович, Бажин Анатолій Іванович, Гончаров Олександр Андрійович, Коновалов Владилен Анатолійович
МПК: C23C 16/00
Мітки: основі, плівок, покриття, тонких, одержання, спосіб, захисного, дибориду, багатошарового, танталу
Формула / Реферат:
Спосіб одержання багатошарового захисного покриття на основі тонких плівок дибориду танталу, що здійснюють шляхом нанесення на сталеву підкладку зносостійкого покриття магнетронним методом розпилення матеріалу мішені, який відрізняється тим, що плівку покриття одержують на одній технологічній одиниці устаткування в одному вакуумному циклі при використанні одного магнетрона та однієї мішені, що розпилюється, при цьому шари дибориду танталу...