Ступак Володимир Аврамович
Спосіб отримання термостабільної багатошарової плівки hfb2-hfo2
Номер патенту: 77012
Опубліковано: 25.01.2013
Автори: Петухов Вадим Вікторович, Агулов Олександр Вадимович, Бажин Анатолій Іванович, Ступак Володимир Аврамович, Гончаров Олександр Андрійович
МПК: C23C 16/00
Мітки: плівки, hfb2-hfo2, багатошарової, термостабільної, отримання, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб отримання термостабільної багатошарової плівки HfB2-HfO2 методом ВЧ-магнетронного розпилення з наступним її відпалом при температурах до 1000 °C, який відрізняється тим, що отримання багатошарової термостабільної плівки HfO2-HfB2 здійснюють в діапазоні температур 600…1000 °C в умовах атмосфери печі.
Спосіб одержання багатошарового захисного покриття на основі тонких плівок дибориду танталу
Номер патенту: 32226
Опубліковано: 12.05.2008
Автори: Бажин Анатолій Іванович, Гончаров Олександр Андрійович, Ступак Володимир Аврамович, Коновалов Владилен Анатолійович
МПК: C23C 16/00
Мітки: багатошарового, одержання, покриття, плівок, спосіб, тонких, дибориду, захисного, основі, танталу
Формула / Реферат:
Спосіб одержання багатошарового захисного покриття на основі тонких плівок дибориду танталу, що здійснюють шляхом нанесення на сталеву підкладку зносостійкого покриття магнетронним методом розпилення матеріалу мішені, який відрізняється тим, що плівку покриття одержують на одній технологічній одиниці устаткування в одному вакуумному циклі при використанні одного магнетрона та однієї мішені, що розпилюється, при цьому шари дибориду танталу...