Корнмайер Торстен
Кріпильний конус для кремнієвих осаджувальних стержнів
Номер патенту: 99570
Опубліковано: 27.08.2012
Автор: Корнмайер Торстен
МПК: C30B 25/00, C01B 33/035
Мітки: кріпильний, стержнів, осаджувальних, кремнієвих, конус
Формула / Реферат:
1. Кріпильний конус для кремнієвих осаджувальних стержнів в реакторах для осаджування полікремнію, виготовлений з графіту, який відрізняється тим, що кріпильний конус включає вісесиметричну основну частину корпусу (2), в центрі верхньої поверхні якої містить цільний кріпильний елемент (3), виконаний з можливістю кріплення кремнієвих осаджувальних стержнів (1), при цьому основна частина корпусу (2) має отвір у формі кришки горщика, виконаний...