Лекомт Бенуа
Поділ модульного пристрою для нанесення покриття
Номер патенту: 112300
Опубліковано: 25.08.2016
Автори: Віам Хью, Йонемічі Томохіро, Лекомт Бенуа
МПК: C23C 16/54, C23C 14/56, C03C 17/00 ...
Мітки: модульного, поділ, пристрою, нанесення, покриття
Формула / Реферат:
1. Спосіб осадження багатошарової покриваючої стопи шарів на плоску скляну підкладку, що включає осадження методом катодного розпилення під вакуумом принаймні першого шару в першій зоні осадження, яка має перший тип атмосфери, і принаймні другого шару в другій зоні осадження, яка має другий тип атмосфери, що відділений від першого типу атмосфери розділовою зоною, де плоску скляну підкладку переміщують від першої зони осадження до другої зони...