Віам Хью
Поділ модульного пристрою для нанесення покриття
Номер патенту: 112300
Опубліковано: 25.08.2016
Автори: Віам Хью, Лекомт Бенуа, Йонемічі Томохіро
МПК: C03C 17/00, C23C 16/54, C23C 14/56 ...
Мітки: поділ, покриття, модульного, нанесення, пристрою
Формула / Реферат:
1. Спосіб осадження багатошарової покриваючої стопи шарів на плоску скляну підкладку, що включає осадження методом катодного розпилення під вакуумом принаймні першого шару в першій зоні осадження, яка має перший тип атмосфери, і принаймні другого шару в другій зоні осадження, яка має другий тип атмосфери, що відділений від першого типу атмосфери розділовою зоною, де плоску скляну підкладку переміщують від першої зони осадження до другої зони...