Лоя Василь Юрійович

Номер патенту: 81328

Опубліковано: 25.12.2007

Автори: Студеняк Ігор Петрович, Козак Мирослав Іванович, Лоя Василь Юрійович, Шпак Іван Іванович

МПК: G01N 21/41

Мітки: некристалічних, спосіб, тонких, густини, визначення, плівок

Формула / Реферат:

Спосіб визначення густини некристалічних тонких плівок, який включає експериментальні вимірювання фізичних величин некристалічних тонких плівок, який відрізняється тим, що еліпсометричним вимірюванням визначають показник заломлення n, після чого густину некристалічної тонкої плівки r знаходять за формулою:де m - відоме значення молярної маси досліджуваної...

Номер патенту: 24174

Опубліковано: 25.06.2007

Автори: Лоя Василь Юрійович, Козак Мирослав Іванович, Студеняк Ігор Петрович, Шпак Іван Іванович

МПК: G01N 21/47

Мітки: рефракції, тонких, визначення, спосіб, плівок, молярної

Формула / Реферат:

Спосіб визначення молярної рефракції тонких плівок, який включає експериментальне вимірювання фізичних величин тонких плівок, який відрізняється тим, що шляхом еліпсометричного вимірювання визначають показник заломлення n та товщину плівки d, а також обчислюють значення маси m, величину площі S, і за одержаними значеннями розраховують густину плівки

Номер патенту: 16412

Опубліковано: 15.08.2006

Автори: Шпак Іван Іванович, Козак Мирослав Іванович, Лоя Василь Юрійович, Студеняк Ігор Петрович

МПК: G02B 27/00

Мітки: тонких, визначення, густини, спосіб, некристалічних, плівок

Формула / Реферат:

Спосіб визначення густини некристалічних тонких плівок, який включає експериментальні вимірювання фізичних величин некристалічних тонких плівок, зокрема густини, який відрізняється тим, що еліпсометричним вимірюванням визначають показник заломлення n, після чого густину некристалічної тонкої плівки  знаходять за формулою: