Мухін Олексій Борисович

Конструкційний тепловий матеріал з низькою теплопровідністю

Завантаження...

Номер патенту: 100008

Опубліковано: 10.07.2015

Автори: Шишкова Наталія Володимирівна, Ефрос Наталія Борисівна, Ніколаєнко Юрій Макарович, Старостюк Наталія Юріївна, Мухін Олексій Борисович

МПК: F28F 13/18

Мітки: конструкційний, теплопровідністю, тепловий, низькою, матеріал

Формула / Реферат:

1. Теплостійкий конструкційний матеріал з низькою теплопровідністю для застосувань в мікроелектроніці, а також як теплова і електрична ізоляція об'єктів, що працюють в екстремальних умовах, який відрізняється тим, що являє собою багатошарову гетероструктуру на основі нанотовщинних плівкових шарів двох (або більше) різнорідних контактуючих оксидних матеріалів.2. Теплостійкий конструкційний матеріал за пунктом 1, який відрізняється тим,...

Вакуумна установка для магнетронного розпилення мішеней

Завантаження...

Номер патенту: 49697

Опубліковано: 11.05.2010

Автори: Ніколаєнко Юрій Макарович, Мухін Олексій Борисович

МПК: C23C 14/35

Мітки: магнетронного, вакуумна, мішеней, розпилення, установка

Формула / Реферат:

1. Вакуумна установка для магнетронного розпилення мішеней, головним чином для забезпечення умов епітаксійного росту багатокомпонентних плівок, наприклад, на основі манганитів, що містить: три магнетрони з примусовим водяним охолодженням, підведенням високовольтної напруги і накидними гайками для кріплення мішеней, які розміщені в металевому корпусі циліндричної форми, що герметично закривається зверху вакуумним ковпаком з прозорими вікнами...