Патенти з міткою «мішеней»

Номер патенту: 49697

Опубліковано: 11.05.2010

Автори: Мухін Олексій Борисович, Ніколаєнко Юрій Макарович

МПК: C23C 14/35

Мітки: розпилення, установка, мішеней, вакуумна, магнетронного

Формула / Реферат:

1. Вакуумна установка для магнетронного розпилення мішеней, головним чином для забезпечення умов епітаксійного росту багатокомпонентних плівок, наприклад, на основі манганитів, що містить: три магнетрони з примусовим водяним охолодженням, підведенням високовольтної напруги і накидними гайками для кріплення мішеней, які розміщені в металевому корпусі циліндричної форми, що герметично закривається зверху вакуумним ковпаком з прозорими вікнами...

Номер патенту: 17775

Опубліковано: 20.05.1997

Автор: Козаченко Ігор Миколайович

МПК: F41J 1/00

Мітки: закріплення, пристрій, мішеней

Формула / Реферат:

Устройство для закрепления мишеней, содержащее рамку, выполненную с возможностью фиксации в ней поражаемой мишени с двух сторон и перемещения ее в горизонтальной плоскости, отличающееся тем, что рамка состоит из двух частей, внутренней и наружной, подвижно закреплена на основе с возможностью перемещения в вертикальной плоскости и содержит две градуированные шкалы, одна из которых размещена на наружной части рамки, а другая на основе.

Номер патенту: 11386

Опубліковано: 25.12.1996

Автори: Ганієв Рев Вахізович, Єрьоменко Людмила Іванівна, Лиходід Людмила Семенівна, Кудь Ірина Володимирівна, Дворіна Людмила Андріївна

МПК: C23C 14/32

Мітки: дисиліцидів, мішеней, металів, спосіб, виготовлення, перехідних

Формула / Реферат:

Способ изготовления мишеней из дисиллицидов переходных металлов, преимущественно для ионно-плазменного распыления, включающий смешивание порошков исходных компонентов, хо­лодное прессование смеси и спекание-синтез, по­вторное измельчение продуктов синтеза и получение мишени путем прессования и спекания измельченных продуктов синтеза, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества мишеней за счет уменьшения пористости и содержания газо­вых...

Номер патенту: 5770

Опубліковано: 29.12.1994

Автори: Зиков Олександр Володимирович, Юнаков Микола Миколайович, Марущенко Микола Борисович, Качанов Юрій Олександрович, Фареник Володимир Іванович

МПК: C23C 14/00

Мітки: мішеней, поверхонь, діелектричних, спосіб, обробки, вакуумі

Формула / Реферат:

Способ обработки поверхностей диэлектри­ческих мишеней в вакууме, включающий бомбар­дировку мишеней ускоренным пучком положительных ионов и компенсацию заряда электронами катода - нейтрализатора, отличаю­щийся тем, что, с целью повышения качества обра­ботки за счет улучшения однородности обработки и снижения вносимой дефектности, на поверхность катода - нейтрализатора подают положительный по­тенциал j [В], выбираемый из...