Набитович Йосиф Дмитрович
Спосіб отримання тонких ванадієвих плівок термічним резистивним нагрівом
Номер патенту: 33147
Опубліковано: 15.02.2001
Автори: Варшава Славомир Степанович, Сусол Петро Іванович, Набитович Йосиф Дмитрович
МПК: C23C 14/26, H01C 17/075
Мітки: нагрівом, ванадієвих, спосіб, тонких, термічним, резистивним, плівок, отримання
Текст:
...заповнюють двома І більше ванадієвими стрічками,при цьому температуру випар-* нику задають в межах 1850 - 20S0 °С» температуру підкладки * ЗЬО - *Ю0 °С ,а глибина вакууму складав 9,3« І О" 5 Па, запропонована конструкція випарника дозволяв проводити процес випаровування при температурах 1850 - 20Ь0 °С»розміщення наваж* ки » ванадієвої стрічки по всі* довжині робочої частини вольфра* у О/ тервалі температур І швидкосте* випарру:вання...