Нелюба Павло Леонідович
Спосіб виготовлення фотоелектричних конверторів з фулеренвмісним фотоперетворюючим шаром
Номер патенту: 105848
Опубліковано: 11.04.2016
Автори: Венгер Євген Федорович, Матвєєва Людмила Олександрівна, Конакова Раїса Василівна, Шинкаренко Володимир Вікторович, Колядіна Олена Юріївна, Виноградов Анатолій Олегович, Нелюба Павло Леонідович
МПК: H01L 21/00
Мітки: фотоелектричних, шаром, фулеренвмісним, спосіб, фотоперетворюючим, виготовлення, конверторів
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення фотоелектричних конверторів з фулеренвмісним фотоперетворюючим шаром, який включає в себе створення нижнього контактоутворюючого шару, фулеренвмісного фотоперетворюючого шару з наступним нанесенням верхнього контактоутворюючого шару, який відрізняється тим, що після нанесення верхнього контактоутворюючого шару додатково проводять мікрохвильовий відпал тривалістю від 0,1 с до 10 годин, емітансом 10-2¸104 Вт/см2 та...