Непорожній Вадим Вадимович
Пристрій для вирощування плоских хвилеводів на основі сполук a2b6
Номер патенту: 18649
Опубліковано: 25.12.1997
Автори: Шевчук Юрій Васильович, Конопальцева Людмила Іванівна, Непорожній Вадим Вадимович, Іщенко Ельвіна Дмитрівна, Шевчук Олеся Сергіївна
МПК: C30B 25/00, C30B 29/50
Мітки: основі, пристрій, хвилеводів, плоских, сполук, вирощування
Формула / Реферат:
Устройство для выращивания плоских волноводов на основе соединений A2B6 методом паровой эпитаксии, содержащее горизонтальную трубчатую кварцевую камеру, снабженную штуцерами для подачи и отвода инертного газа, внутри которой соосно расположены трубы, закрепленные на противоположных торцах камеры и имеющие раструбы в ее средней части, испарители исходных компонентов, размещенные внутри труб, и наружные нагреватели, образующие три зоны нагрева,...