Пантелус Євгенія Валеріївна
Спосіб одержання фотолюмінісцентної плівки з кремнієвими квантовими точками
Номер патенту: 15063
Опубліковано: 15.06.2006
Автори: Свєчніков Сергій Васильович, Каганович Елла Борисівна, Манойлов Едуард Геннадійович, Пантелус Євгенія Валеріївна
МПК: H01L 21/203, H01L 21/268
Мітки: кремнієвими, квантовими, плівки, одержання, точками, фотолюмінісцентної, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб одержання фотолюмінісцентної плівки з кремнієвими квантовими точками, що включає формування SiO2 плівки з кремнієвими нанокристалами на підкладку, впровадження вуглецю в плівку та активацію фотолюмінісценції, який відрізняється тим, що формування SiO2 плівки з кремнієвими нанокристалами, впровадження вуглецю в плівку та активацію фотолюмінісценції проводять одностадійно методом імпульсного лазерного осадження шляхом опромінення...