Патенти з міткою «кремнієвими»
Спосіб одержання фотолюмінесцентної плівки з кремнієвими квантовими точками
Номер патенту: 19621
Опубліковано: 15.12.2006
Автори: Свєчніков Сергій Васильович, Бєгун Євгенія Валеріївна, Каганович Елла Борисівна, Манойлов Едуард Геннадійович
МПК: H01L 21/203, H01L 21/268
Мітки: кремнієвими, плівки, квантовими, одержання, точками, фотолюмінесцентної, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб одержання фотолюмінесцентної плівки з кремнієвими квантовими точками, що включає формування Аl2О3 плівки з Si нанокристалами імпульсним лазерним осадженням з прямого потоку частинок ерозійного факела при дії променем IAГ:Nd3+ лазера на мішень, що містить Si, та активацію фотолюмінесценції, який відрізняється тим, що формування Аl2О3 плівки з Si нанокристалами та активацію фотолюмінесценції проводять одностадійно осадженням на кремнієву...
Спосіб одержання фотолюмінісцентної плівки з кремнієвими квантовими точками
Номер патенту: 15063
Опубліковано: 15.06.2006
Автори: Манойлов Едуард Геннадійович, Свєчніков Сергій Васильович, Пантелус Євгенія Валеріївна, Каганович Елла Борисівна
МПК: H01L 21/268, H01L 21/203
Мітки: спосіб, точками, квантовими, фотолюмінісцентної, одержання, плівки, кремнієвими
Формула / Реферат:
Спосіб одержання фотолюмінісцентної плівки з кремнієвими квантовими точками, що включає формування SiO2 плівки з кремнієвими нанокристалами на підкладку, впровадження вуглецю в плівку та активацію фотолюмінісценції, який відрізняється тим, що формування SiO2 плівки з кремнієвими нанокристалами, впровадження вуглецю в плівку та активацію фотолюмінісценції проводять одностадійно методом імпульсного лазерного осадження шляхом опромінення...