Полєха Дмитро Олександрович
Спосіб поліпшення адгезії металевих плівок до напівпровідникових і діелектричних прошарків
Номер патенту: 8622
Опубліковано: 15.08.2005
Автори: Жавжаров Євген Леонідович, Полєха Дмитро Олександрович, Матюшин Володимир Михайлович
МПК: C23C 14/58, C23C 14/18
Мітки: металевих, плівок, поліпшення, адгезії, діелектричних, напівпровідникових, прошарків, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб поліпшення адгезії металевих плівок до напівпровідникових та діелектричних прошарків, який включає нанесення металевої плівки на прошарок і подальше оброблення плівки, який відрізняється тим, що оброблення пластин з плівкою виконують одностадійно в атмосфері електрично нейтрального атомарного водню у вакуумній установці при температурі прошарку 20-70°С.