Примаченко Віктор Євгенович
Спосіб формування фотолюмінесцентної плівки пористого кремнію
Номер патенту: 50353
Опубліковано: 15.10.2002
Автори: Каганович Елла Борисівна, Примаченко Віктор Євгенович, Кізяк Ірина Миронівна, Манойлов Едуард Геннадійович, Свєчніков Сергій Васильович
МПК: H01L 21/203, H01L 21/268
Мітки: кремнію, плівки, формування, фотолюмінесцентної, спосіб, пористого
Формула / Реферат:
Спосіб формування фотолюмінесцентної плівки пористого кремнію, що включає лазерну абляцію кремнієвої мішені в атмосфері інертного газу, осадження плівки із зворотного потоку часток ерозійного факела на розташовану в площині мішені підкладку та пасивацію внутрішньої поверхні плівки, який відрізняється тим, що абляцію здійснюють променем лазера ІAГ:Nd3+ з довжиною хвилі 1,06 мкм, густиною енергії імпульсу 15-30 Дж/см2, його тривалістю 8-12 нс...
Спосіб формування фотолюмінесцентної плівки нанокристалічного кремнію
Номер патенту: 50352
Опубліковано: 15.10.2002
Автори: Примаченко Віктор Євгенович, Каганович Елла Борисівна, Свєчніков Сергій Васильович, Манойлов Едуард Геннадійович, Кізяк Ірина Миронівна
МПК: H01L 21/268, H01L 21/203
Мітки: плівки, формування, фотолюмінесцентної, нанокристалічного, кремнію, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб формування фотолюмінесцентної плівки нанокристалічного кремнію, що включає абляцію лазером ІAГ : Nd3+ кремнієвої мішені в атмосфері аргону, осадження плівки із прямого потоку часток ерозійного факела на підкладку, розташовану на відстані від мішені по нормалі від неї, та активацію фотолюмінесценції, який відрізняється тим, що проводять лазерну абляцію променем довжиною хвилі 1,06 мкм, густиною енергії 15 - 30 Дж/см2, частотою імпульсів...