Кізяк Ірина Миронівна
Спосіб пасивації поверхні монокристалічного кремнію
Номер патенту: 25457
Опубліковано: 10.08.2007
Автори: Кізяк Ірина Миронівна, Коганович Елла Борисівна, Чирчик Сергій Васильович, Малютенко Володимир Костянтинович, Бєгун Євгенія Валеріївна, Манойлов Едуард Геннадійович
МПК: H01L 21/02
Мітки: монокристалічного, пасивації, поверхні, спосіб, кремнію
Формула / Реферат:
Спосіб пасивації поверхні монокристалічного кремнію, що включає вилучення природного оксиду кремнію з його поверхні, нанесення оксидної плівки та активацію межі її розподілу з кремнієм, який відрізняється тим, що природний оксид кремнію видаляють травленням поверхні кремнію в 25-50 % HF розчині протягом 3-10 хвилин при кімнатній температурі, нанесення оксидної плівки та активацію межі її розподілу з кремнієм проводять одностадійно...
Спосіб формування фотолюмінесцентної плівки пористого кремнію
Номер патенту: 50353
Опубліковано: 15.10.2002
Автори: Свєчніков Сергій Васильович, Кізяк Ірина Миронівна, Каганович Елла Борисівна, Примаченко Віктор Євгенович, Манойлов Едуард Геннадійович
МПК: H01L 21/268, H01L 21/203
Мітки: плівки, формування, кремнію, фотолюмінесцентної, спосіб, пористого
Формула / Реферат:
Спосіб формування фотолюмінесцентної плівки пористого кремнію, що включає лазерну абляцію кремнієвої мішені в атмосфері інертного газу, осадження плівки із зворотного потоку часток ерозійного факела на розташовану в площині мішені підкладку та пасивацію внутрішньої поверхні плівки, який відрізняється тим, що абляцію здійснюють променем лазера ІAГ:Nd3+ з довжиною хвилі 1,06 мкм, густиною енергії імпульсу 15-30 Дж/см2, його тривалістю 8-12 нс...
Спосіб формування фотолюмінесцентної плівки нанокристалічного кремнію
Номер патенту: 50352
Опубліковано: 15.10.2002
Автори: Манойлов Едуард Геннадійович, Каганович Елла Борисівна, Свєчніков Сергій Васильович, Примаченко Віктор Євгенович, Кізяк Ірина Миронівна
МПК: H01L 21/203, H01L 21/268
Мітки: нанокристалічного, формування, спосіб, кремнію, плівки, фотолюмінесцентної
Формула / Реферат:
Спосіб формування фотолюмінесцентної плівки нанокристалічного кремнію, що включає абляцію лазером ІAГ : Nd3+ кремнієвої мішені в атмосфері аргону, осадження плівки із прямого потоку часток ерозійного факела на підкладку, розташовану на відстані від мішені по нормалі від неї, та активацію фотолюмінесценції, який відрізняється тим, що проводять лазерну абляцію променем довжиною хвилі 1,06 мкм, густиною енергії 15 - 30 Дж/см2, частотою імпульсів...