Репік Валерій Петрович

Номер патенту: 13252

Опубліковано: 28.02.1997

Автори: Богданов Євген Іванович, Живов Михайло Давидович, Репік Валерій Петрович

МПК: H01L 21/304

Мітки: пластин, відмивання, напівпровідникових, пристрій

Формула / Реферат:

Устройство для отмывки полупроводниковых пластин, содержащее держатель пластины с вертикальной осью вращения, цилиндрический рабочий инструмент, установленный с возможностью вращения относительно оси, параллельной плоскости держателя, и средства подачи жидкости в зону обработки, отличающееся тем, что рабочий инструмент выполнен в виде трубок из упругого пористого полирующего материала, расположенных по образующим цилиндра.