Семеновська Олена Володимирівна
Спосіб визначення теплового опору кристала субмікронного транзистора
Номер патенту: 96061
Опубліковано: 26.09.2011
Автори: Тимофєєв Володимир Іванович, Семеновська Олена Володимирівна
МПК: G01N 25/18
Мітки: теплового, транзистора, кристала, визначення, спосіб, опору, субмікронного
Формула / Реферат:
Спосіб визначення теплового опору кристала субмікронного транзистора, що включає вимірювання розмірів фігури теплового еквівалента транзистора від розтікання теплового потоку від затвора всередину кристала під кутами і , вимірювання величини елементів теплового еквівалента, який відрізняється тим, що...
Спосіб визначення теплового опору кристала субмікронного транзистора
Номер патенту: 89911
Опубліковано: 10.03.2010
Автори: Семеновська Олена Володимирівна, Тимофєєв Володимир Іванович
МПК: G01R 31/26, H01L 21/66
Мітки: спосіб, опору, субмікронного, визначення, теплового, транзистора, кристала
Формула / Реферат:
Спосіб визначення теплового опору кристала субмікронного транзистора, що включає вимірювання розмірів фігури теплового еквівалента транзистора від розтікання теплового потоку від затвора всередину кристалу під кутами α і β, вимірювання величини приросту площ перерізу фігури теплового еквівалента за висотою кристала, який відрізняється тим, що вимірюють висоту злому бокової поверхні теплового еквівалента та на цій висоті вимірюють...