Щербай Константин Степанович
Датчик тиску
Номер патенту: 11226
Опубліковано: 25.12.1996
Автори: Островська Анастасія Степанівна, Варшава Славомир Степанович, Воронін Валерій Олександрович, Щербай Константин Степанович
МПК: G01L 9/02, G01L 11/00
Формула / Реферат:
(57) Датчик давления, содержащий диэлектрическую подложку, на которой размещен полупроводниковый чувствительный элемент на основе твердого раствора GaAs1-xPx (x -= 0,4) с электрическими контактами, отличающийся тем, что в нем чувствительный элемент выполнен в виде нитевидного кристалла, при этом твердый раствор GaAs1-xPx легирован медью сконцентрацией носителей 2*1013-8*1013 см3.