Шіпіло Віктор Броніславовіч
Спосіб одержання нітриду кремнію
Номер патенту: 12986
Опубліковано: 28.02.1997
Автори: Сторож Володимир Васильович, Бартницька Тамара Сергіївна, Личко Валерій Володимирович, Шіпіло Віктор Броніславовіч, Сухіх Леонід Леонідович, Костюк Микола Віталійович, Зелявський Вільгельм Броніславович, Курдюмов Олександр Вячеславович, Власова Марина Василівна, Акімов Геннадій Якович
МПК: C01B 21/068
Мітки: кремнію, одержання, спосіб, нітриду
Формула / Реферат:
(57) Способ получения нитрида кремния, включающий смешивание высокодисперсного кремния и хлорида аммония и азотирование полученной шихты при 1200-1300°С, отличающийся тем, что порошок кремния перед смешиванием подвергают воздействию давления 1,0-4,5ГПа в течение 1-5мин.