Зелявський Вільгельм Броніславович
Спосіб одержання нітриду кремнію
Номер патенту: 12986
Опубліковано: 28.02.1997
Автори: Курдюмов Олександр Вячеславович, Костюк Микола Віталійович, Сухіх Леонід Леонідович, Акімов Геннадій Якович, Сторож Володимир Васильович, Бартницька Тамара Сергіївна, Власова Марина Василівна, Личко Валерій Володимирович, Зелявський Вільгельм Броніславович, Шіпіло Віктор Броніславовіч
МПК: C01B 21/068
Мітки: нітриду, кремнію, одержання, спосіб
Формула / Реферат:
(57) Способ получения нитрида кремния, включающий смешивание высокодисперсного кремния и хлорида аммония и азотирование полученной шихты при 1200-1300°С, отличающийся тем, что порошок кремния перед смешиванием подвергают воздействию давления 1,0-4,5ГПа в течение 1-5мин.