Сторож Володимир Васильович
Спосіб одержання нітриду кремнію
Номер патенту: 12986
Опубліковано: 28.02.1997
Автори: Курдюмов Олександр Вячеславович, Акімов Геннадій Якович, Шіпіло Віктор Броніславовіч, Зелявський Вільгельм Броніславович, Сторож Володимир Васильович, Костюк Микола Віталійович, Личко Валерій Володимирович, Власова Марина Василівна, Бартницька Тамара Сергіївна, Сухіх Леонід Леонідович
МПК: C01B 21/068
Мітки: спосіб, нітриду, кремнію, одержання
Формула / Реферат:
(57) Способ получения нитрида кремния, включающий смешивание высокодисперсного кремния и хлорида аммония и азотирование полученной шихты при 1200-1300°С, отличающийся тем, что порошок кремния перед смешиванием подвергают воздействию давления 1,0-4,5ГПа в течение 1-5мин.