Шурдук Борис Констянтинович

Номер патенту: 2218

Опубліковано: 26.12.1994

Автори: Федорів Вадим Михайлович, Кутовой Ігор Васильович, Шурдук Борис Констянтинович

МПК: H01L 21/306

Мітки: виготовлення, пластин, спосіб, кремнійових

Формула / Реферат:

Способ изготовления кремниевых пластин, включающий резку, двустороннюю шлифовку, травление, предварительную полировку и химико-механическую полировку рабочей стороны пластин, отличающийся тем, что с целью повы­шения качества пластин за счет уменьшения плот­ности точечных дефектов и площади с линиями скольжения на рабочей поверхности пластин, а также повышения воспроизводимости глубины травления, травление пластин производят в се­лективном...