Патенти з міткою «кремнійових»

Номер патенту: 7373

Опубліковано: 29.09.1995

Автори: Кудіна Альбіна Вікторівна, Думбров Володимир Іванович, Москаль Денис Миколайович, Рудський Ігор Володимирович, Попов Валентин Георгійович, Литовченко Володимир Григорович, Жолудєв Геннадій Кузьмич, Романюк Борис Миколайович

МПК: H01L 21/322

Мітки: внутрішнього, спосіб, кремнійових, пластинах, геттерування

Формула / Реферат:

Способ внутреннего геттерирования в кремни­евых пластинах с содержанием кислорода 4•1017-1•1018 см-3 , включающий проведение двухста­дийного отжига при температурах T1=600-8000С и Т2=1050-1150°С в нейтральной среде, отлича­ющийся тем, что, с целью повышения эффектив­ности процесса геттерирования, отжиг при температуре T1 проводят в течение 3-8 ч в поле градиента механических напряжений, обеспечи­вающих сжатие рабочей и растяжение нерабочей...

Номер патенту: 3674

Опубліковано: 27.12.1994

Автори: Кутовий Ігор Васильович, Шурдук Борис Костянтинович, Живов Михайло Давидович, Богданов Євген Іванович

МПК: H01L 21/306

Мітки: спосіб, пластин, кремнійових, виготовлення

Формула / Реферат:

Способ изготовления кремниевых пластин, включающий резку, двустороннюю шлифовку, травление в селективном кислотном травителе на глубину 0,4-0,8 диаметра зерна абразивного порошка, применяемого при шлифовке, и полировку рабочей поверхности пластин, отличающийся тем, что после травления на обе стороны кремниевых пластин наносят пленку поликремния толщиной 0,4-3 мкм, производят термообработку в диапазоне температур 900-1000°С в инертной среде в...

Номер патенту: 2218

Опубліковано: 26.12.1994

Автори: Федорів Вадим Михайлович, Кутовой Ігор Васильович, Шурдук Борис Констянтинович

МПК: H01L 21/306

Мітки: кремнійових, спосіб, виготовлення, пластин

Формула / Реферат:

Способ изготовления кремниевых пластин, включающий резку, двустороннюю шлифовку, травление, предварительную полировку и химико-механическую полировку рабочей стороны пластин, отличающийся тем, что с целью повы­шения качества пластин за счет уменьшения плот­ности точечных дефектов и площади с линиями скольжения на рабочей поверхности пластин, а также повышения воспроизводимости глубины травления, травление пластин производят в се­лективном...