Спосіб виготовлення кремнійових пластин
Номер патенту: 2218
Опубліковано: 26.12.1994
Автори: Шурдук Борис Констянтинович, Федорів Вадим Михайлович, Кутовой Ігор Васильович
Формула / Реферат
Способ изготовления кремниевых пластин, включающий резку, двустороннюю шлифовку, травление, предварительную полировку и химико-механическую полировку рабочей стороны пластин, отличающийся тем, что с целью повышения качества пластин за счет уменьшения плотности точечных дефектов и площади с линиями скольжения на рабочей поверхности пластин, а также повышения воспроизводимости глубины травления, травление пластин производят в селективном кислотном травителе до полной его выработки на глубину 0,4...0,8 диаметра абразивного зерна, применяемого при двусторонней шлифовке.
Текст
для СЛУЖЬБНОГО ПОЛЬЗОВАНИЯ экз СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК (19) Л
ДивитисяДодаткова інформація
Назва патенту англійськоюManufacturing method for silicon wafers
Автори англійськоюKutovoi Ihor Vasyliovych, Fedoriv Vadym Mykhailovych, Shurduk Borys Kostiantynovych
Назва патенту російськоюСпособ изготовления кремниевих пластин
Автори російськоюКутовой Игорь Васильевич, Федорив Вадим Михайлович, Шурдук Борис Константинович
МПК / Мітки
МПК: H01L 21/306
Мітки: кремнійових, виготовлення, спосіб, пластин
Код посилання
<a href="https://ua.patents.su/2-2218-sposib-vigotovlennya-kremnijjovikh-plastin.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Спосіб виготовлення кремнійових пластин</a>
Попередній патент: Керуючий пристрій робочими органами сільськогосподарської машини
Наступний патент: Комплектне вибухозахищене улаштування
Випадковий патент: Жирова композиція для комбікормів