Кутовой Ігор Васильович

Номер патенту: 13051

Опубліковано: 28.02.1997

Автори: Шурдук Борис Костянтинович, Пундик Степан Васильович, Кутовой Ігор Васильович

МПК: H01L 21/22

Мітки: виготовлення, мікросхем, основі, спосіб, мдн-транзисторів

Формула / Реферат:

(57) Способ изготовления микросхем на основе МДП-транзисторов, включающий химическую обработку пластин кремния, окисление, фотолитографию, диффузию примеси в областях стоков и истоков, отличающийся тем, что после формирования маскирующего окисла проводят контроль изменения удельного сопротивления пластины кремния, и диффузию примеси проводят при температуре окисления на глубину, определяемую выражением

Номер патенту: 2218

Опубліковано: 26.12.1994

Автори: Шурдук Борис Констянтинович, Федорів Вадим Михайлович, Кутовой Ігор Васильович

МПК: H01L 21/306

Мітки: виготовлення, кремнійових, пластин, спосіб

Формула / Реферат:

Способ изготовления кремниевых пластин, включающий резку, двустороннюю шлифовку, травление, предварительную полировку и химико-механическую полировку рабочей стороны пластин, отличающийся тем, что с целью повы­шения качества пластин за счет уменьшения плот­ности точечных дефектов и площади с линиями скольжения на рабочей поверхности пластин, а также повышения воспроизводимости глубины травления, травление пластин производят в се­лективном...