Смолін Михайло Дмитрійович

Фотошаблон

Завантаження...

Номер патенту: 11368

Опубліковано: 25.12.1996

Автори: Андреєва Ася Фантинівна, Осипова Галіна Іванівна, Смолін Михайло Дмитрійович, Гільман Ірина Яковлевна

МПК: G03C 5/00, G03F 1/00

Мітки: фотошаблон

Формула / Реферат:

Фотошаблон, содержащий прозрачную под­ложку с расположенным на ее поверхности маски­рующим слоем, в котором сформирован рисунок, отличающийся тем, что, с целью повышения каче­ства фотошаблона за счет повышения разрешаю­щей способности и улучшения спектральных характеристик, маскирующий слой выполнен из высших окислов празеодима (Рr6О11) или тербия (Tb4O7).