Патенти з міткою «фотошаблон»

Номер патенту: 11368

Опубліковано: 25.12.1996

Автори: Осипова Галіна Іванівна, Андреєва Ася Фантинівна, Гільман Ірина Яковлевна, Смолін Михайло Дмитрійович

МПК: G03C 5/00, G03F 1/00

Мітки: фотошаблон

Формула / Реферат:

Фотошаблон, содержащий прозрачную под­ложку с расположенным на ее поверхности маски­рующим слоем, в котором сформирован рисунок, отличающийся тем, что, с целью повышения каче­ства фотошаблона за счет повышения разрешаю­щей способности и улучшения спектральных характеристик, маскирующий слой выполнен из высших окислов празеодима (Рr6О11) или тербия (Tb4O7).

Номер патенту: 11369

Опубліковано: 25.12.1996

Автори: Порицький Марк Львович, Матусевич Едуард Іванович, Андреєва Ася Фантинівна

МПК: G03C 5/00, G03F 7/26

Мітки: фотошаблон, виготовлення, спосіб

Формула / Реферат:

1. Фотошаблон, содержащий прозрачную для актиничного излучения подложку с маскирующим слоем на ее поверхности, содержащим прозрачные участки и непрозрачные, выполненные из оксида празсодима в соответствии с топологическим ри­сунком, отличающийся тем, что, с целью повыше­ния износостойкости фотошаблона и улучшения его оптических характеристик, прозрачные участ­ки маскирующего слоя выполнены из полуторного окисла празеодима.2. Способ...