Сьома Богдан Дмитрович
Спосіб обробки поверхневих шарів напівпровідникових пластин
Номер патенту: 1774
Опубліковано: 25.10.1994
Автори: Сьома Богдан Дмитрович, Ілюк Ігор Євгенович, Александров Євген Веніамінович, Молчанов Костянтин Вікторович, Бабій Ігор Євгенович
МПК: H01L 21/306
Мітки: спосіб, поверхневих, пластин, напівпровідникових, обробки, шарів
Формула / Реферат:
Способ обработки поверхностных слоев полупроводниковых пластин, включающий установку рабочих полупроводниковых пластин на одинаковом расстоянии одна от другой в кассету, установку перед первой и после последней рабочими пластинами балластных пластин на том же расстоянии и последующую обработку, отличающийся тем. что в качестве балластных используют пластины, на поверхность которых нанесен обрабатываемый слой в едином цикле с рабочими...