Терехов Сергій Ігорович
Система очистки парогазової суміші продуктів реакції гідрохлорування кремнію
Номер патенту: 72919
Опубліковано: 27.08.2012
Автори: Малий Анатолій Васильович, Реков Юрій Васильович, Багреновський Костянтин Васильович, Бондар Костянтин Миколайович, Терехов Сергій Ігорович
МПК: B01D 50/00
Мітки: суміші, система, кремнію, реакції, парогазової, продуктів, очистки, гідрохлорування
Формула / Реферат:
1. Система очистки парогазової суміші продуктів реакції гідрохлорування кремнію при синтезі трихлорсилану від домішок, яка містить блок сухої очистки, що включає набір послідовно встановлених циклонів та засоби підведення парогазової суміші з реактора синтезу, а також блок мокрої очистки, яка відрізняється тим, що блок сухої очистки містить первинний циклон для очистки парогазової суміші від великих твердих часток домішок, з'єднаний із...
Тримач прутків-підкладок установки для осадження полікристалічного кремнію
Номер патенту: 72384
Опубліковано: 10.08.2012
Автори: Тахтай Іван Миколайович, Скільсара Василь Михайлович, Крігер Олександр Сергійович, Терехов Сергій Ігорович
МПК: F16B 1/00
Мітки: полікристалічного, осадження, кремнію, тримач, установки, прутків-підкладок
Формула / Реферат:
1. Тримач прутків-підкладок установки для осадження полікристалічного кремнію, який включає корпус, цанговий фіксатор з каналом для розміщення прутка, який має встановлювальну частину, при цьому в корпусі виконане приймальне гніздо для приймання встановлювальної частини фіксатора, який відрізняється тим, що на торцевій поверхні встановлювальної частини цангового фіксатора виконана вибірка, що утворює повітряний теплоізоляційний проміжок між...