Реков Юрій Васильович
Індуктор для вирощування кристалів методом безтигельної зонної плавки
Номер патенту: 83683
Опубліковано: 25.09.2013
Автори: Червоний Іван Федорович, Реков Юрій Васильович
МПК: C30B 13/20
Мітки: кристалів, безтигельної, індуктор, плавки, вирощування, зонної, методом
Формула / Реферат:
1. Індуктор для вирощування кристалів методом безтигельної зонної плавки у вигляді тарілчастої котушки з каналом для пропускання охолоджуючого середовища по периферії, центральним круговим отвором і наскрізним радіальним прорізом, по краях якого розташовані патрубки для підключення до джерела електричного живлення і для підведення охолоджуючого середовища, при цьому концентрично центральному отвору виконані периферичні отвори, з'єднані...
Тримач для кріплення прутків-підкладок у реакторі вирощування полікристалічного кремнію
Номер патенту: 83364
Опубліковано: 10.09.2013
Автори: Іваніщев Олексій Григорович, Крігер Олександр Сергійович, Голєв Євген Олександрович, Трегуб Олексій Михайлович, Реков Юрій Васильович
МПК: C23C 16/00, C01B 33/035
Мітки: прутків-підкладок, тримач, полікристалічного, кремнію, кріплення, вирощування, реакторі
Формула / Реферат:
1. Тримач для кріплення прутків-підкладок у реакторі вирощування полікристалічного кремнію, який містить перехідник із встановленим у ньому цанговим фіксатором для розміщення прутка-підкладки, що має встановлювальну частину, металевий охолоджуваний струмоввід, з'єднаний з електродом, при цьому струмоввід має приймальне гніздо, в якому розміщена встановлювальна частина перехідника, який відрізняється тим, що глибина приймального гнізда...
Система очистки парогазової суміші продуктів реакції гідрохлорування кремнію
Номер патенту: 72919
Опубліковано: 27.08.2012
Автори: Терехов Сергій Ігорович, Реков Юрій Васильович, Малий Анатолій Васильович, Багреновський Костянтин Васильович, Бондар Костянтин Миколайович
МПК: B01D 50/00
Мітки: кремнію, реакції, продуктів, гідрохлорування, очистки, суміші, система, парогазової
Формула / Реферат:
1. Система очистки парогазової суміші продуктів реакції гідрохлорування кремнію при синтезі трихлорсилану від домішок, яка містить блок сухої очистки, що включає набір послідовно встановлених циклонів та засоби підведення парогазової суміші з реактора синтезу, а також блок мокрої очистки, яка відрізняється тим, що блок сухої очистки містить первинний циклон для очистки парогазової суміші від великих твердих часток домішок, з'єднаний із...
Реактор синтезу трихлорсилану
Номер патенту: 71517
Опубліковано: 10.07.2012
Автори: Багреновський Костянтин Васильович, Бондар Костянтин Миколайович, Малий Анатолій Васильович, Реков Юрій Васильович
МПК: C01B 33/107
Мітки: трихлорсилану, реактор, синтезу
Формула / Реферат:
1. Реактор синтезу трихлорсилану, що містить послідовно з'єднані між собою вузол завантаження, оснащений засобом для підведення реагентів, реакційний вузол і сепараційний вузол, а також систему теплообміну реактора, засіб для відведення реагентів, засіб для відведення продуктів реакції, засіб для підведення допоміжних середовищ і засоби для підведення і відведення теплоносіїв, при цьому засіб для підведення реагентів являє собою штуцер, який...
Спосіб визначення вмісту бору в полікристалічному кремнії
Номер патенту: 53507
Опубліковано: 11.10.2010
Автори: Реков Юрій Васильович, Воляр Роман Миколайович, Єгоров Сергій Геннадійович, Червоний Іван Федорович
МПК: C30B 13/00
Мітки: спосіб, визначення, вмісту, бору, полікристалічному, кремнії
Формула / Реферат:
Спосіб визначення вмісту бору в полікристалічному кремнії, що включає вирізку і шліфування заготовки з початкового полікристалічного кремнієвого стрижня, хімічне травлення і відмивання її деіонізованою водою, сушіння заготовки, проведення безтигельної зонної плавки, вимірювання на плавленому стрижні питомого електричного опору, який відрізняється тим, що безтигельну зонну плавку проводять в дві стадії, після кожної вимірюють в контрольних...