Реков Юрій Васильович

Індуктор для вирощування кристалів методом безтигельної зонної плавки

Завантаження...

Номер патенту: 83683

Опубліковано: 25.09.2013

Автори: Червоний Іван Федорович, Реков Юрій Васильович

МПК: C30B 13/20

Мітки: кристалів, безтигельної, індуктор, плавки, вирощування, зонної, методом

Формула / Реферат:

1. Індуктор для вирощування кристалів методом безтигельної зонної плавки у вигляді тарілчастої котушки з каналом для пропускання охолоджуючого середовища по периферії, центральним круговим отвором і наскрізним радіальним прорізом, по краях якого розташовані патрубки для підключення до джерела електричного живлення і для підведення охолоджуючого середовища, при цьому концентрично центральному отвору виконані периферичні отвори, з'єднані...

Тримач для кріплення прутків-підкладок у реакторі вирощування полікристалічного кремнію

Завантаження...

Номер патенту: 83364

Опубліковано: 10.09.2013

Автори: Іваніщев Олексій Григорович, Крігер Олександр Сергійович, Голєв Євген Олександрович, Трегуб Олексій Михайлович, Реков Юрій Васильович

МПК: C23C 16/00, C01B 33/035

Мітки: прутків-підкладок, тримач, полікристалічного, кремнію, кріплення, вирощування, реакторі

Формула / Реферат:

1. Тримач для кріплення прутків-підкладок у реакторі вирощування полікристалічного кремнію, який містить перехідник із встановленим у ньому цанговим фіксатором для розміщення прутка-підкладки, що має встановлювальну частину, металевий охолоджуваний струмоввід, з'єднаний з електродом, при цьому струмоввід має приймальне гніздо, в якому розміщена встановлювальна частина перехідника, який відрізняється тим, що глибина приймального гнізда...

Система очистки парогазової суміші продуктів реакції гідрохлорування кремнію

Завантаження...

Номер патенту: 72919

Опубліковано: 27.08.2012

Автори: Терехов Сергій Ігорович, Реков Юрій Васильович, Малий Анатолій Васильович, Багреновський Костянтин Васильович, Бондар Костянтин Миколайович

МПК: B01D 50/00

Мітки: кремнію, реакції, продуктів, гідрохлорування, очистки, суміші, система, парогазової

Формула / Реферат:

1. Система очистки парогазової суміші продуктів реакції гідрохлорування кремнію при синтезі трихлорсилану від домішок, яка містить блок сухої очистки, що включає набір послідовно встановлених циклонів та засоби підведення парогазової суміші з реактора синтезу, а також блок мокрої очистки, яка відрізняється тим, що блок сухої очистки містить первинний циклон для очистки парогазової суміші від великих твердих часток домішок, з'єднаний із...

Реактор синтезу трихлорсилану

Завантаження...

Номер патенту: 71517

Опубліковано: 10.07.2012

Автори: Багреновський Костянтин Васильович, Бондар Костянтин Миколайович, Малий Анатолій Васильович, Реков Юрій Васильович

МПК: C01B 33/107

Мітки: трихлорсилану, реактор, синтезу

Формула / Реферат:

1. Реактор синтезу трихлорсилану, що містить послідовно з'єднані між собою вузол завантаження, оснащений засобом для підведення реагентів, реакційний вузол і сепараційний вузол, а також систему теплообміну реактора, засіб для відведення реагентів, засіб для відведення продуктів реакції, засіб для підведення допоміжних середовищ і засоби для підведення і відведення теплоносіїв, при цьому засіб для підведення реагентів являє собою штуцер, який...

Спосіб визначення вмісту бору в полікристалічному кремнії

Завантаження...

Номер патенту: 53507

Опубліковано: 11.10.2010

Автори: Реков Юрій Васильович, Воляр Роман Миколайович, Єгоров Сергій Геннадійович, Червоний Іван Федорович

МПК: C30B 13/00

Мітки: спосіб, визначення, вмісту, бору, полікристалічному, кремнії

Формула / Реферат:

Спосіб визначення вмісту бору в полікристалічному кремнії, що включає вирізку і шліфування заготовки з початкового полікристалічного кремнієвого стрижня, хімічне травлення і відмивання її деіонізованою водою, сушіння заготовки, проведення безтигельної зонної плавки, вимірювання на плавленому стрижні питомого електричного опору, який відрізняється тим, що безтигельну зонну плавку проводять в дві стадії, після кожної вимірюють в контрольних...