Тіщенко Ігор Юрійович
Спосіб виготовлення кремнієвих пластин
Номер патенту: 115688
Опубліковано: 11.12.2017
Автори: Тіщенко Ігор Юрійович, Сухоставець Володимир Маркович
МПК: C30B 33/04, C30B 29/00
Мітки: спосіб, кремнієвих, виготовлення, пластин
Формула / Реферат:
1. Спосіб виготовлення кремнієвих пластин, що включає розрізання з припуском квадратованого чи псевдоквадратованого зливка монокристалічного чи мультикристалічного кремнію на пластини з припуском та видалення припуску з торцевих поверхонь пластини шляхом обробки за допомогою високоенергетичного вузьконаправленого газового потоку, який відрізняється тим, що при видаленні припуску одночасно на торцевій поверхні формують фаску, при цьому...