Токарчук Володимир Прокопович

Номер патенту: 6671

Опубліковано: 29.12.1994

Автори: Маскович Степан Миколайович, Кочубей Віталій Феодосійович, Бірковий Юрій Леонідович, Гутор Іван Максимович, Августімов Віталій Леонідович, Гуменяк Михайло Васильович, Сенюта Тарас Богданович, Токарчук Володимир Прокопович

МПК: C23C 16/40

Мітки: кремнію, одержання, двуокісу, плівок, спосіб

Формула / Реферат:

(57) 1. Способ получения пленок двуокиси кремния, включающий осаждение в газовой смеси, содержащей соединение кремния и кислород, отличающийся тем, что осаждение инициируется однократным искровым разрядом в течение 0,001-0,01 сек, при этом газовая смесь дополнительно содержит водород, и при необходимости, легирующие добавки, а в качестве соединения кремния берут соединение типа SiHnCl4-n в количестве 0,006-0,048 об.% при соотношении...