Августімов Віталій Леонідович

Номер патенту: 18290

Опубліковано: 25.12.1997

Автори: Августімов Віталій Леонідович, Насипайко Олександр Васильович, Бідник Дмитро Ілліч, Остапчук Анатолій Іванович, Костенко Сергій Петрович

МПК: G01N 27/12

Мітки: вологості, датчика, чутливий, елемент

Формула / Реферат:

Чувствительный элемент датчика влажности, содержащий кремниевую пластину, на поверхность которой последовательно нанесены слои окисла и нитрида кремния, поверх последнего сформирован в виде прямоугольных полос слой поликристаллического кремния с двумя электродами, легированного ионами элементов III или V групп, с нанесенным материалом, сорбирующим влагу, отличающийся тем, что слой поликремния сформирован в виде двух ортогональных по осям...

Номер патенту: 6671

Опубліковано: 29.12.1994

Автори: Токарчук Володимир Прокопович, Маскович Степан Миколайович, Гутор Іван Максимович, Гуменяк Михайло Васильович, Кочубей Віталій Феодосійович, Бірковий Юрій Леонідович, Августімов Віталій Леонідович, Сенюта Тарас Богданович

МПК: C23C 16/40

Мітки: плівок, двуокісу, кремнію, спосіб, одержання

Формула / Реферат:

(57) 1. Способ получения пленок двуокиси кремния, включающий осаждение в газовой смеси, содержащей соединение кремния и кислород, отличающийся тем, что осаждение инициируется однократным искровым разрядом в течение 0,001-0,01 сек, при этом газовая смесь дополнительно содержит водород, и при необходимости, легирующие добавки, а в качестве соединения кремния берут соединение типа SiHnCl4-n в количестве 0,006-0,048 об.% при соотношении...