Уколов Олексій Іванович
Спосіб створення наноструктур на поверхні германію
Номер патенту: 101705
Опубліковано: 25.04.2013
Автори: Надточій Віктор Олексійович, Уколов Олексій Іванович
МПК: H01L 21/322
Мітки: створення, наноструктур, спосіб, поверхні, германію
Формула / Реферат:
Спосіб створення наноструктур на поверхні германію, що включає дифузію атомів речовини в полі локальних механічних напружень, який відрізняється тим, що пластину германію обробляють механічним та хіміко-динамічним поліруванням, після чого пластину за кімнатної температури деформують циклами стискання-розвантаження з одночасним ультразвуковим опромінюванням зі створенням наноструктур в області виходу на поверхню дислокаційної півпетлі.
Спосіб визначення міри дефектності приповерхневих шарів монокристалів германію або кремнію
Номер патенту: 97999
Опубліковано: 10.04.2012
Автори: Уколов Олексій Іванович, Надточій Віктор Олексійович
МПК: G01N 27/87
Мітки: приповерхневих, спосіб, шарів, міри, визначення, германію, монокристалів, дефектності, кремнію
Формула / Реферат:
Спосіб визначення міри дефектності приповерхневих шарів монокристалів германію або кремнію полягає у встановленні точкового контакту із зразком монокристалу, через який в пропускному напрямі подають два рознесені у часі прямокутні імпульси струму, інжектований і вимірювальний, який відрізняється тим, що проводять часову затримку вимірювального імпульсу до 1t, де t - час життя нерівноважних носіїв заряду, мкс.