Волошина Наталія Павлівна
Датчик тиску
Номер патенту: 14399
Опубліковано: 25.04.1997
Автори: Дручин Володимир Степанович, Волошина Наталія Павлівна, Вікулін Іван Михайлович, Ранченко Генадій Степанович, Прохоров Валерій Анатолійович
МПК: G01L 9/04, G01L 9/00, G01L 9/02 ...
Формула / Реферат:
Датчик давления, содержащий монокристаллическую кремниевую мембрану, на планарной поверхности которой выполнены тензорезисторы с фиксированной глубиной залегания р-n-перехода, при этом тензорезисторы соединены с контактными площадками, а планарная поверхность мембраны покрыта слоем двуокиси кремния, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения в условиях воздействия ионизирующего излучения, в нем поверхностный слой...