Яблонівській Євгеній Іванович

Номер патенту: 55342

Опубліковано: 17.03.2003

Автори: Яблонівській Євгеній Іванович, Болгов Сергій Семенович, Малютенко Володимир Костянтинович

МПК: H01L 21/66

Мітки: з'єднань, контролю, спосіб, складу, напівпровідникових, складних

Формула / Реферат:

Способ контроля состава сложных полупроводниковых соединений, включающий возбуждение люминесценции в полупроводниковой пластине, регистрацию люминесценции, измерение температуры пластины и определение состава, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля для узкозонных соединений при упрощении способа, возбуждение полупроводниковой пластины производят путем помещения ее в скрещенные электрическое и магнитное поля, вектора...

Номер патенту: 43934

Опубліковано: 15.01.2002

Автори: Малютенко Володимир Костянтинович, Болгов Сергій Семенович, Яблонівській Євгеній Іванович

МПК: G01K 11/00

Мітки: датчик, температури

Текст: