Яцухненко Сергій Юрійович
Чутливий елемент мікроелектронного сенсора для вимірювання магнітного поля
Номер патенту: 120820
Опубліковано: 27.11.2017
Автори: Яцухненко Сергій Юрійович, Дружинін Анатолій Олександрович, Ховерко Юрій Миколайович
МПК: H01L 29/82
Мітки: сенсора, елемент, поля, мікроелектронного, вимірювання, чутливий, магнітного
Формула / Реферат:
Чутливий елемент мікроелектронного сенсора для вимірювання магнітного поля, що містить монокристал кремнію, на поверхні якого розташована напівмагнітна плівка з омічними контактами, який відрізняється тим, що монокристал кремнію виконаний ниткоподібним, а напівмагнітна плівка виконана нанопористою.